抗反射涂層（ARC），指通過(guò)抑制界面光反射、提升光透射率的功能性薄膜材料。抗反射涂層具備降低界面反射率、消除駐波效應(yīng)、抗紫外線等功能，主要應(yīng)用于光刻工藝中，半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?yàn)槠渲饕�需求端�?BR> 抗反射涂層種類(lèi)豐富。按照基材不同，抗反射涂層可分為有機(jī)抗反射涂層以及無(wú)機(jī)抗反射涂層；按照涂覆位置不同，可分為頂部抗反射涂層（TARC）以及底部抗反射涂層（BARC）；按照結(jié)構(gòu)不同，可分為多層抗反射涂層以及單層抗反射涂層等。BARC具備控制反射界面大、能有效降低駐波效應(yīng)等特點(diǎn)，應(yīng)用范圍較廣。
近年來(lái)，我國(guó)企業(yè)及相關(guān)科研機(jī)構(gòu)不斷加大對(duì)于抗反射涂層的研發(fā)投入力度，已獲得多項(xiàng)相關(guān)專(zhuān)利，主要包括《一種雙色光刻底部抗反射涂層及其制備方法》、《高蝕刻率底部抗反射涂層的制備與應(yīng)用》、《一種底部抗反射涂層及其制備方法和應(yīng)用》、《一種抗反射無(wú)機(jī)納米涂層的制備方法和應(yīng)用》等。未來(lái)隨著研究深入，我國(guó)抗反射涂層技術(shù)將不斷進(jìn)步。
抗反射涂層主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。近年來(lái)，伴隨全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，我國(guó)芯片行業(yè)發(fā)展速度加快。據(jù)國(guó)家統(tǒng)計(jì)局發(fā)布數(shù)據(jù)顯示，2024年我國(guó)芯片產(chǎn)量達(dá)到4514億顆，同比增長(zhǎng)22.2%。在芯片制造過(guò)程中，將抗反射涂層旋涂于光刻膠和硅襯底之間，能有效吸收光刻工藝中產(chǎn)生的反射光。未來(lái)伴隨下游行業(yè)景氣度提升，我國(guó)抗反射涂層應(yīng)用需求將進(jìn)一步增長(zhǎng)。
全球抗反射涂層主要生產(chǎn)企業(yè)包括美國(guó)杜邦公司（DuPont）、日本信越化學(xué)株式會(huì)社（Shin-Etsu）、日本合成橡膠公司（JSR）、韓國(guó)株式會(huì)社東進(jìn)世美肯（DONGJIN SEMICHEM）、德國(guó)默克公司（Merck）等。在本土方面，恒坤新材、麥加芯彩等為我國(guó)抗反射涂層主要生產(chǎn)商。恒坤新材已具備BARC規(guī)模化生產(chǎn)實(shí)力，產(chǎn)品銷(xiāo)量位居我國(guó)行業(yè)領(lǐng)先。
受益于我國(guó)半導(dǎo)體制造行業(yè)發(fā)展速度加快，抗反射涂層應(yīng)用需求不斷增長(zhǎng)。未來(lái)伴隨技術(shù)進(jìn)步，我國(guó)抗反射涂層市場(chǎng)空間將得到進(jìn)一步擴(kuò)展。全球抗反射涂層市場(chǎng)主要集中于歐美以及日韓等國(guó)。目前，我國(guó)部分企業(yè)已具備抗反射涂層規(guī)�；�生產(chǎn)實(shí)力，未來(lái)其行業(yè)景氣度有望提升。