薄膜鈦酸鋇電光調制器，是以鈦酸鋇薄膜為介質實現(xiàn)光信號調制的光電子器件。
　　電光調制器是利用電光晶體的電光效應對光波進行調制的器件。電光調制器是光通信系統(tǒng)中對光信號進行調制的核心器件，作用極為重要。與傳統(tǒng)采用塊狀電光晶體的電光調制器相比，薄膜電光調制器體積小、傳輸速度快、功耗低，開發(fā)與應用受到關注。
　　鈦酸鋇，化學式BaTiO3，英文縮寫B(tài)TO，電光系數(shù)超高，可顯著提高電光調制器的調制性能。利用物理氣相沉積法（PVD）、化學氣相沉積法（CVD）、脈沖激光沉積法（PLD）等工藝可制備得到薄膜鈦酸鋇。薄膜碳酸鋇介電常數(shù)高，電場響應能力強，在電光調制器制造領域可以發(fā)揮重要作用。
　　鈦酸鋇晶體是非對稱斜晶結構，具有光電效應。但鈦酸鋇居里溫度低，在薄膜鈦酸鋇制備、電光調制器制造過程中，當溫度超過居里溫度時，鈦酸鋇晶體結構會轉變?yōu)閷ΨQ晶體，失去電光效應。這對薄膜鈦酸鋇電光調制器技術發(fā)展形成限制。2024年7月，武漢郵電科學研究院有限公司公開了一項名為“基于高居里溫度鈦酸鋇薄膜的電光調制器及其制備方法”的發(fā)明專利。這給薄膜鈦酸鋇電光調制器開發(fā)提供了一條技術路線。
　　鈦酸鋇晶體包括多晶與單晶，鈦酸鋇多晶工藝難度較低，鈦酸鋇單晶制備難度大，但其光折變效應、自泵浦相位共軛反射率、雙波混頻效率等性能更為優(yōu)異，在電光調制器領域更具發(fā)展?jié)摿�，實驗室中制備鈦酸鋇單晶的工藝難以實現(xiàn)工業(yè)化生產，這對薄膜鈦酸鋇電光調制器行業(yè)發(fā)展也造成一定影響。
　　薄膜鈦酸鋇電光調制器與硅光工藝兼容受到關注，可以實現(xiàn)薄膜鈦酸鋇單晶工業(yè)化制備，并能夠提高集成度、增強調制性能、降低成本，實現(xiàn)超高速、低損耗光信號調制。
　　薄膜鈦酸鋇電光調制器技術進步空間大，2024年8月，我國工信部發(fā)布國家重點研發(fā)計劃“信息光子技術”重點專項2024年度項目申報指南，提出針對超寬帶光通信與互連網(wǎng)絡對高性能電光調制的需求，研究鈦酸鋇（BaTiO3，BTO）薄膜材料與電光調制器關鍵技術。
    此外，我國地方政府對薄膜鈦酸鋇電光調制器行業(yè)發(fā)展也極為重視，例如2024年度武漢市重點研發(fā)計劃指南方向中將基于硅光集成的鈦酸鋇薄膜電光調制器關鍵技術研發(fā)列入，上海2024年度“探索者計劃”（第一批）項目申報指南中將基于鈦酸鋇的高性能集成電光調制器件研究列入�？偟膩砜�，我國薄膜鈦酸鋇電光調制器行業(yè)發(fā)展前景廣闊。