聚焦離子束電子束雙束顯微鏡又稱聚焦離子束雙束電子顯微鏡，是一種同時(shí)具有聚焦離子束（FIB）、掃描電子顯微鏡（SEM）功能的高科技分析儀器。
　　聚焦離子束電子束雙束顯微鏡是在掃描電子顯微鏡基礎(chǔ)上加裝聚焦離子束系統(tǒng)，并附帶納米機(jī)械臂、氣體注入系統(tǒng)、可控樣品臺(tái)等附件。在工作時(shí)，聚焦離子束對(duì)各類材料進(jìn)行納微米級(jí)尺度的加工、修改、成型、成像，電子束進(jìn)行材料微觀形貌、晶體取向、三維結(jié)構(gòu)、元素含量等的分析測(cè)試。
　　聚焦離子束電子束雙束顯微鏡實(shí)現(xiàn)了微區(qū)成像、加工、分析及操縱的一體化，在材料科學(xué)、生命科學(xué)、能源催化、半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。在半導(dǎo)體制造中，聚焦離子束電子束雙束顯微鏡可用于集成電路的缺陷診斷、離子注入、掩膜版修理、原位加工、刻蝕等。
　　近年來(lái)，隨著科學(xué)研究熱情提升、科學(xué)儀器更新需求釋放，聚焦離子束電子束雙束顯微鏡采購(gòu)需求有所提升，浙江大學(xué)、西南交通大學(xué)、吉林大學(xué)等院校均有發(fā)布相關(guān)采購(gòu)需求。
　　作為先進(jìn)儀器，聚焦離子束電子束雙束顯微鏡技術(shù)壁壘較高，在國(guó)際市場(chǎng)上，其供應(yīng)商包括德國(guó)卡爾•蔡司（Zeiss）、美國(guó)賽默飛世爾科技（ThermoFisher）、法國(guó)ORSAY PHYSICS公司、日本電子株式會(huì)社等。國(guó)外企業(yè)起步早、技術(shù)先進(jìn)，在聚焦離子束電子束雙束顯微鏡領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力較強(qiáng)。
　　國(guó)儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司（國(guó)儀量子）自主研制的電鏡新品-聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500于2023年發(fā)布，該電鏡擁有自主可控的場(chǎng)發(fā)射電子鏡筒（保證納米分析能力）、“承影”離子鏡筒（提供離子束流，保證納米加工能力）。目前國(guó)儀量子的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500已入選《2024年合肥市首臺(tái)套重大技術(shù)裝備名單》。
    聚焦離子束電子束雙束顯微鏡應(yīng)用需求廣泛，但長(zhǎng)期以來(lái)，受核心技術(shù)限制，我國(guó)聚焦離子束電子束雙束顯微鏡市場(chǎng)由國(guó)外企業(yè)占據(jù)重要份額。近年來(lái)，在“十四五”國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃支持下，我國(guó)逐漸實(shí)現(xiàn)了聚焦離子束電子束雙束顯微鏡國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)，憑借服務(wù)響應(yīng)快、性價(jià)比高等優(yōu)勢(shì)，國(guó)產(chǎn)儀器有望實(shí)現(xiàn)更廣泛推廣應(yīng)用。