大束流離子注入機(jī)，指可以處理大電流離子束的離子注入機(jī)。大束流離子注入機(jī)具備高效傳輸、污染控制、劑量均勻性精確控制等功能，在晶圓制造領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。
離子注入機(jī)主要包括大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)以及中束流離子注入機(jī)等類(lèi)型。與高能離子注入機(jī)相比，大束流離子注入機(jī)具備技術(shù)成熟度高、生產(chǎn)成本低等優(yōu)勢(shì)。與中束流離子注入機(jī)相比，大束流離子注入機(jī)具備工作效率高、能量控制精度高、適應(yīng)性好等優(yōu)勢(shì)。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，大束流離子注入機(jī)技術(shù)成熟度不斷提升，已逐漸成為離子注入機(jī)市場(chǎng)主流產(chǎn)品。未來(lái)隨著離子注入機(jī)行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)持續(xù)向好，我國(guó)大束流離子注入機(jī)將迎來(lái)廣闊市場(chǎng)前景。
大束流離子注入機(jī)是一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，可用于大尺寸晶圓摻雜工藝、超淺結(jié)注入工藝以及表面改性工藝中。近年來(lái)，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，我國(guó)大尺寸晶圓產(chǎn)能不斷擴(kuò)張。2023年我國(guó)12英寸晶圓月均產(chǎn)能達(dá)到近380萬(wàn)片。受益于技術(shù)進(jìn)步以及下游行業(yè)發(fā)展速度加快，我國(guó)大束流離子注入機(jī)市場(chǎng)空間不斷擴(kuò)展。2023年我國(guó)大束流離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到近45億元，創(chuàng)造歷史新高。
在行業(yè)發(fā)展初期，受技術(shù)壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制，我國(guó)大束流離子注入機(jī)高度依賴(lài)進(jìn)口，美國(guó)和日本為我國(guó)主要進(jìn)口國(guó)。近年來(lái)，在國(guó)家政策支持以及技術(shù)進(jìn)步等積極因素推動(dòng)下，我國(guó)大束流離子注入機(jī)市場(chǎng)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程不斷加快。上海萬(wàn)業(yè)企業(yè)股份有限公司和中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司為我國(guó)大束流離子注入機(jī)代表企業(yè)。2020年，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下凱世通自主研發(fā)出我國(guó)首臺(tái)低能大束流離子注入機(jī)，目前公司已成功獲得多家大尺寸晶圓廠(chǎng)采購(gòu)訂單。中電科自主研發(fā)并生產(chǎn)的大束流離子注入機(jī)，已成功入選由國(guó)務(wù)院國(guó)有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員會(huì)發(fā)布的《 中央企業(yè)科技創(chuàng)新成果產(chǎn)品手冊(cè)（2022年版）》。
隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，我國(guó)大束流離子注入機(jī)應(yīng)用需求不斷增長(zhǎng)，行業(yè)發(fā)展速度有所加快。在行業(yè)發(fā)展初期，海外企業(yè)長(zhǎng)期占據(jù)我國(guó)大束流離子注入機(jī)市場(chǎng)主導(dǎo)地位。未來(lái)伴隨本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國(guó)國(guó)產(chǎn)大束流離子注入機(jī)市場(chǎng)占比有望提升。