氮化鋁靜電吸盤，指以氮化鋁為基材制成的靜電吸盤。與碳化硅靜電吸盤相比，氮化鋁靜電吸盤具備斷裂韌性佳、抗彎強度高、熱傳導(dǎo)性能好等優(yōu)勢，為陶瓷靜電吸盤主流產(chǎn)品，在晶圓加工、顯示面板制造、光學(xué)元件加工等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
   氮化鋁為氮化鋁靜電吸盤主要原材料，占據(jù)其較大生產(chǎn)成本。氮化鋁具備耐腐蝕、硬度高、熱穩(wěn)定性好、化學(xué)穩(wěn)定性佳、電阻率高、帶隙寬等諸多優(yōu)良特性，在通信系統(tǒng)、高溫設(shè)備、電子電氣等領(lǐng)域應(yīng)用較多。氮化鋁制備流程較為復(fù)雜，直接氮化法、碳熱還原法以及高能球磨法為其主要制備方法。2023年我國氮化鋁產(chǎn)量突破1000噸，同比增長超過15%。目前，我國氮化鋁供應(yīng)缺口較大，需求高度依賴進口，這將為氮化鋁靜電吸盤行業(yè)發(fā)展帶來一定挑戰(zhàn)。
  按照原材料不同，陶瓷靜電吸盤可分為碳化硅靜電吸盤、氮化鋁靜電吸盤、氧化鋁靜電吸盤以及氮化硅靜電吸盤等。近年來，我國陶瓷靜電吸盤行業(yè)發(fā)展態(tài)勢較好。2023年我國陶瓷靜電吸盤市場規(guī)模達到近30億元，同比增長近10%。未來隨著陶瓷靜電吸盤市場規(guī)模增長，氮化鋁靜電吸盤作為其細(xì)分產(chǎn)品，行業(yè)景氣度將進一步提升。
  晶圓加工領(lǐng)域為氮化鋁靜電吸盤最大需求端，其可用于固定晶圓、控制加工溫度、減少物理損傷。近年來，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴張。2023年我國12英寸晶圓月均產(chǎn)能達到近400萬片，創(chuàng)造歷史新高。未來隨著技術(shù)進步以及應(yīng)用需求增長，我國晶圓行業(yè)發(fā)展速度將不斷加快，屆時氮化鋁靜電吸盤市場空間有望進一步擴展。
   我國氮化鋁靜電吸盤市場主要參與者包括旭光電子、華卓精科、精瓷新材等。華卓精科已成功開發(fā)出12英寸PVD氮化鋁靜電吸盤，據(jù)其公司公告顯示，2023年上半年公司靜電吸盤業(yè)務(wù)實現(xiàn)營收143.8萬元。
   受益于我國晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴張，氮化鋁靜電吸盤應(yīng)用需求持續(xù)增長，行業(yè)發(fā)展速度不斷加快。與海外發(fā)達國家相比，我國氮化鋁靜電吸盤行業(yè)起步較晚，但發(fā)展勢頭迅猛，已有多家企業(yè)布局其研發(fā)及生產(chǎn)賽道，未來伴隨技術(shù)進步，我國氮化鋁靜電吸盤產(chǎn)量及質(zhì)量有望提升。