吸氣劑離子泵，一種真空泵，采用物理法抽真空，將被抽氣體分子電離，在電場(chǎng)或者磁場(chǎng)作用下，輸送至泵的吸附表面，被吸附劑捕集從而實(shí)現(xiàn)真空。
　　吸氣劑離子泵將吸氣劑泵與離子泵優(yōu)點(diǎn)相結(jié)合，利用吸氣劑泵抽出活性氣體，利用離子泵抽出惰性氣體。吸氣劑離子泵是一種超高真空泵，最高真空極限可達(dá)到10-7至10-9Pa；無(wú)需密封液體，對(duì)真空環(huán)境無(wú)污染；抽速高，可快速達(dá)到所需真空條件。
　　吸氣劑離子泵包括蒸發(fā)離子泵、濺射離子泵兩大類。蒸發(fā)離子泵，氣體分子電離后，被連續(xù)或間斷升華并覆蓋在泵壁上的吸氣劑吸附，可以應(yīng)用在電子元器件、加速器、熱核裝置等真空系統(tǒng)中。濺射離子泵，氣體分子電離后，被陰極連續(xù)濺射所釋放的吸氣劑吸附，可以應(yīng)用在電子顯微鏡真空系統(tǒng)中，用于物理學(xué)、材料學(xué)、醫(yī)學(xué)等研究領(lǐng)域，也可用于加速器中。
　　濺射離子泵具有極限壓強(qiáng)低、振動(dòng)低、適應(yīng)場(chǎng)景范圍寬等優(yōu)點(diǎn)，是一種代表性的超高真空泵。在電子顯微鏡領(lǐng)域，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、場(chǎng)發(fā)射透射電鏡屬于高端產(chǎn)品，具有高分辨率特征，為保證使用壽命以及成像質(zhì)量，其樣品臺(tái)、電子槍、探測(cè)器等零部件需要工作在超高真空環(huán)境中，通常采用機(jī)械泵、渦輪分子泵、離子泵組合的方式來(lái)提高真空度，采用的離子泵通常是濺射離子泵。
　　為滿足科研需求，我國(guó)市場(chǎng)對(duì)電子顯微鏡的要求日益高端化，目前我國(guó)已經(jīng)具備場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、場(chǎng)發(fā)射透射電鏡自主研制能力，為濺射離子泵帶來(lái)廣闊發(fā)展空間。同時(shí)，我國(guó)為電子產(chǎn)品生產(chǎn)大國(guó)，加速器、核工業(yè)等領(lǐng)域技術(shù)發(fā)展迅速，利好吸氣劑離子泵整體行業(yè)發(fā)展。
   在全球市場(chǎng)中，美國(guó)安捷倫（Agilen）是代表性吸氣劑離子泵生產(chǎn)商，推出非蒸散型吸氣劑（NEG）復(fù)合離子泵，例如CombiNEG 40-400、CombiNEG 150-1000/2000吸氣劑復(fù)合型離子泵，具有大容量、超高抽速、無(wú)振動(dòng)、長(zhǎng)使用壽命等特征，以及鈦升華復(fù)合離子泵（TSP），例如VacIon Plus 150/300/500復(fù)合泵。安捷倫在全球吸氣劑離子泵市場(chǎng)中競(jìng)爭(zhēng)力強(qiáng)。
在我國(guó)市場(chǎng)中，中科科儀是代表性吸氣劑離子泵生產(chǎn)商，推出多款濺射離子泵，例如KYKY 2L-50、3L-400C等。除以上兩家企業(yè)外，全球吸氣劑離子泵生產(chǎn)商還有日本愛(ài)發(fā)科（ULVAC）、德國(guó)萊寶（Leybold）、德國(guó)Gamma Vacuum、荷蘭HOSITRAD、美國(guó)Thermionics等。愛(ài)發(fā)科（ULVAC）推出多款濺射離子泵，例如PST-100CX/AX、PST-110AU、PST-400CX II、PST-400AX II等。