E-T探測(cè)器（ETD），由埃弗哈特（Everhart）、索恩利（Thornley）兩位科學(xué)家設(shè)計(jì)發(fā)明，以發(fā)明家名字命名，是一種重要的二次電子探測(cè)器，探測(cè)入射電子與樣品相互作用產(chǎn)生的低能量電子，從材料來看其屬于閃爍體-光電倍增管探測(cè)器，主要用于掃描電子顯微鏡（掃描電鏡，SEM）中。
　　20世紀(jì)50年代，掃描電鏡首次采用光電倍增管來收集二次電子，但二次電子收集效率低，圖像信噪比低。20世紀(jì)60年代，埃弗哈特、索恩利在前者的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，使二次電子先通過閃爍體再通過光電倍增管，顯著提高了二次電子的收集效率，提高了圖像信噪比。
　　掃描電鏡通常需要探測(cè)二次電子（SE）、背散射電子（BSE）兩種信號(hào)，二次電子是入射電子與樣品表面最淺處相互作用，發(fā)生非彈性散射產(chǎn)生的低能量電子，可以反映樣品表面形貌細(xì)節(jié)。E-T探測(cè)器通常探測(cè)二次電子，但也可以探測(cè)背散射電子，其探測(cè)的信號(hào)成分較為復(fù)雜。
　　E-T探測(cè)器的工作原理是，樣品表面產(chǎn)生二次電子后發(fā)射，經(jīng)正電場(chǎng)加速后，先到達(dá)閃爍體，閃爍體將其轉(zhuǎn)換為光信號(hào)，輸送給光電倍增管，光電倍增管將光信號(hào)放大，再轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，傳輸給計(jì)算機(jī)處理獲得圖像。
　　E-T探測(cè)器具有信號(hào)收集效率高、探測(cè)速度快的優(yōu)點(diǎn)，裝配于樣品臺(tái)一側(cè)，屬于旁置式探測(cè)器，主要收集低角度電子信號(hào)，適合觀察立體感強(qiáng)的樣品，是掃描電鏡中必須配置的二次電子探測(cè)器。E-T探測(cè)器是二次電子探測(cè)器產(chǎn)品中最常見類型，通常所說的二次電子探測(cè)器即E-T探測(cè)器。
　　掃描電鏡具有分辨率高、成像速度快、無損檢測(cè)、適用對(duì)象范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用在生命科學(xué)、臨床醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、地質(zhì)科學(xué)、檢驗(yàn)檢測(cè)等領(lǐng)域，需求持續(xù)增長(zhǎng)。2023年，全球掃描電鏡市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到36.6億美元。E-T探測(cè)器作為掃描電鏡的標(biāo)配探測(cè)器，需求將隨著掃描電鏡市場(chǎng)擴(kuò)大而不斷上升。
   電子顯微鏡正在向高分辨率方向發(fā)展，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（FESEM）成為掃描電鏡發(fā)展趨勢(shì)，可以在納米尺度上分析樣品表面形貌。為了滿足高分辨率要求，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡除了需要配置E-T探測(cè)器外，還需要配置鏡筒內(nèi)/物鏡內(nèi)二次電子探測(cè)器，以及電子背散射衍射（EBSD）探測(cè)器等。未來，E-T探測(cè)器將配合其他探測(cè)器共同使用。