MEMS傳感器，又稱微機(jī)電系統(tǒng)傳感器，按照檢測(cè)物理參數(shù)不同，可分為MEMS溫度傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS氣體傳感器、MEMS聲音傳感器等多種類型。MEMS氣體傳感器，指能夠檢測(cè)周圍環(huán)境中特定氣體，并將檢測(cè)到信息轉(zhuǎn)化為電信號(hào)的MEMS傳感器，在環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)安全監(jiān)控、醫(yī)療健康、消費(fèi)電子等領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。
    MEMS氣體傳感器基于MEMS技術(shù)制成。MEMS技術(shù)，又稱微機(jī)械加工技術(shù)，指將微加工技術(shù)與集成電路制造技術(shù)相結(jié)合，用于制備執(zhí)行器、傳感器等器件的技術(shù)。與海外發(fā)達(dá)國(guó)家相比，我國(guó)MEMS技術(shù)研究起步較晚，本土企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)于上世紀(jì)八十年代才開展相關(guān)產(chǎn)品的開發(fā)工作。經(jīng)過多年發(fā)展，我國(guó)MEMS技術(shù)不斷創(chuàng)新突破，帶動(dòng)MEMS氣體傳感器行業(yè)發(fā)展速度有所加快。
   氣敏材料為MEMS氣體傳感器重要基材，能夠檢測(cè)氣體濃度以及主要成分。氧化鈷、氧化錫、氧化鋅等金屬氧化物半導(dǎo)體材料常用作MEMS氣體傳感器的氣敏材料。氧化錫對(duì)于甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、硫化氫（H2S）等還原性氣體具備較高靈敏度，以其為氣敏材料制成的MEMS氣體傳感器在環(huán)境污染氣體檢測(cè)場(chǎng)景應(yīng)用較多。
   MEMS氣體傳感器具備抗震性好、靈敏度高、使用壽命長(zhǎng)、驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單、體積小、輕量化等特點(diǎn)，在眾多領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。在環(huán)境監(jiān)測(cè)領(lǐng)域，MEMS氣體傳感器可用于監(jiān)測(cè)室內(nèi)空氣質(zhì)量、工業(yè)廢氣排放濃度、水質(zhì)及土壤污染程度等。未來伴隨國(guó)家環(huán)保政策逐漸落地實(shí)施，MEMS氣體傳感器作為環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器，市場(chǎng)空間將進(jìn)一步擴(kuò)展。
   我國(guó)MEMS氣體傳感器主要生產(chǎn)商包括中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)有限公司、微納感知（合肥）技術(shù)有限公司、廣東增敏科技有限公司等。2024年7月，增敏科技自主研發(fā)的第三代熱導(dǎo)式MEMS數(shù)字氣敏傳感器正式投產(chǎn)，產(chǎn)品可與各種控制系統(tǒng)進(jìn)行集成，未來有望在工業(yè)領(lǐng)域獲得應(yīng)用。
    MEMS氣體傳感器綜合性能優(yōu)良，在眾多領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。未來伴隨MEMS技術(shù)不斷進(jìn)步以及市場(chǎng)需求逐漸釋放，我國(guó)MEMS氣體傳感器行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)將持續(xù)向好。目前，我國(guó)已有多家企業(yè)具備MEMS氣體傳感器自主研發(fā)及生產(chǎn)實(shí)力，未來其行業(yè)景氣度將進(jìn)一步提升。